持续保持增长，先进制程机型订单量增长显著；减薄装备、离子注入装备、湿法装备、晶圆再生及耗材维保等订单放量明显，划切及边抛装备也取得多家客户订单；从订单客户结构来看，存储及逻辑订单占比较大，先进封装订单占比提升明显。公司目前在手订单充足。
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发布时间：08:17:08
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